Петухов, В.В.; Гончаров, А.А.; Коновалов, В.А.; Терпий, Д.Н.; Ступак, В.А.
(Физическая инженерия поверхности, 2005)
Пленки ТаВ₂ были синтезированы ВЧ магнетронным распылением мишени ТаВ₂ на стеклянные
и ситалловые подложки. Исследовано влияние параметров распыления магнетронной
распылительной системы на состав и толщину покрытий ...