Перегляд за автором "Серба П.В."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Получение и свойства пористого карбида кремния 
    Светличная, Л.А.; Московченко, Н.Н.; Серба П.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005)
    Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.