Гурин, О.В.; Дегтярев, А.В.; Маслов, В.А.; Свич, В.А.; Сенюта, В.С.; Топков, А.Н.
(Радіофізика та електроніка, 2014)
Цилиндрические векторные пучки имеют множество приложений, включая ускорение электронов, обработку материалов, высокоразрешающую метрологию, микроэллипсометрию и спектроскопию. Результаты исследований особенностей их ...