Борисенко, А.Г.; Полозов, Б.П.; Федорович, О.А.; Болтовец, Н.С.; Иванов, В.Н.; Свешников, Ю.Н.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005)
Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла.