Макара, В.А.; Одарич, В.А.; Кепич, Т.Ю.; Преображенская, Т.Д.; Руденко, О.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
Разработана блок-схема, изготовлен макет прибора и создан пакет автоматизированных программ для измерения показателя преломления и контроля толщины пленок в процессе изготовления пленочных структур.