Литвиненко, В.В.; Родионов, В.Е.; Родионова, Н.А.; Шмидко, И.Н.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
В работе рассматривается влияние высокотемпературной обработки тонких (100 ÷ 500 нм) пленок оксида кремния на кремниевой подложке, полученных в вакууме методом электронно-лучевого испарения. Обнаружена структурная перестройка ...