Стрельчук, В.В.; Николенко, А.C.; Каганович, Э.Б.; Крищенко, И.М.; Манойлов, Э.Г.
(Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, 2013)
Рассмотрены пористые нанокомпозитные пленки оксида алюминия с нанокристаллами кремния (Si НК/por-Al₂O₃), полученные импульсным лазерным осаждением из обратного потока частиц эрозионного факела на подложку, расположенную в ...