Наливайко, О.Ю.; Турцевич, А.С.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012)
Исследовано влияние режимов осаждения нитрида кремния на параметры полученных пленок. Установлено, что с уменьшением температуры осаждения скорость осаждения пленок нитрида кремния уменьшается, при этом повышается однородность ...