Порада, А.К.; Иващенко, В.И.; Иващенко, Л.А.; Дуб, С.Н.; Мороженко, В.О; Тимофеева, И.И.; Косско, И.А.
(Наноструктурное материаловедение, 2010)
В работе исследовано влияние отжига при температурах 600, 800 и 1000 °С на структуру и механические свойства пленок SіCN, полученных методом осаждения из гексаметилдисилазана. Установлено, что аморфность пленок карбонит-рида ...