Семенов, A.В.; Лопин, A.В.; Борискин, В.Н.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2017)
Исследована радиационная стойкость пленок нанокристаллического карбида кремния nc-SiC на подложке из монокристалла сапфира в условиях облучения высокоэнергетическими (10 МэВ) электронами в диапазоне флюенса 5∙10¹⁴—2∙10²⁰ ...