Кренделев, А.Е.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой ...