Александров, С.Б.; Крупальник, К.М.; Корнилов, Н.А.; Кондратьева, Т.А.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011)
Рассмотрены принципы построения технологических модулей. Показаны значения контактного сопротивления пленок, полученных с помощью установок электронно-лучевого напыления серии STE EB и установок быстрого термического отжига ...