Перегляд за автором "Когут, И.Т."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Матричные кремниевые микрокатоды для автоэмиссионных дисплеев 
    Дружинин, А.А.; Голота, В.И.; Когут, И.Т.; Ховерко, Ю.М. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
    Проведен обзор существующих и перспективных типов плоских дисплеев. Предложены матричные кремниевые микрокатоды для автоэмиссионных дисплеев, разработана последовательность базовых операций их изготовления.
  • Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов 
    Дружинин, А.А.; Голота, В.И.; Когут, И.Т.; Сапон, С.В.; Ховерко, Ю.М. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)
    Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода.
  • Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов 
    Дружинин, А.А.; Голота, В.И.; Когут, И.Т.; Ховерко, Ю.Н. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
    Разработаны приборные элементы на локальных трехмерных КНИ-структурах. Сравниваются расчетные и экспериментальные характеристики КНИ МОП-транзисторов. Спроектирована топология микрокатода, интегрированного со схемой управления.
  • Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров 
    Дружинин, А.A.; Голота, В.И.; Когут, И.Т. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
    Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии.