Гончаров, А.А.; Юнда, А.Н.; Зыков, А.В.; Фареник, В.И.; Шелест, И.В.; Буранич, В.В.
(Журнал физики и инженерии поверхности, 2017)
В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. ...