Литвинович, Г.В.; Сокол, В.А.; Углов, В.В.; Занг, И.З.; Абрамов, И.И.; Данилюк, А.Л.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2000)
Рассмотрены вопросы формирования и свойства резистивных элементов, полученных имплантацией пленок пористого анодного оксида алюминия аморфной и кристаллической γ-Al₂O₃ модификации ионами титана и молибдена. Оказалось, что ...