Перегляд за автором "Еремин, С.А."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере 
    Батурин, В.А.; Еремин, С.А.; Пустовойтов, С.А.; Литвинов, П.А.; Карпенко, А.Ю.; Мирошниченко, В.И. (Вопросы атомной науки и техники, 2015)
    Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов ...
  • Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера 
    Батурин, В.А.; Еремин, С.А.; Пустовойтов, С.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
    Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по ...
  • Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов 
    Батурин, В.А.; Карпенко, А.Ю.; Кирик, Г.В.; Мирошниченко, В.И.; Нагорный, А.Г.; Еремин, С.А.; Пустовойтов, С.А.; Нагорный, В.А. (Наука та інновації, 2012)
    Разработана экспериментальная электронно-лучевая установка для нанесения противоэрозионных и противокорозионных покрытий на лопатки паровых турбин тепловых и атомных электростанций. Защитные покрытия наносятся методом ...
  • Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц 
    Батурин, В.А.; Еремин, С.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2008)
    Предложена конструкция экспериментальной установки для масс-спектрометрического анализа нейтральной компоненты потока распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, что позволяет ...