Агулов, А.В.; Гончаров, А.А.; Бажин, А.И.; Васильева, Л.В.; Гончарова, С.А.; Ступак, В.А.
(Физическая инженерия поверхности, 2014)
Проведен анализ формирования плёночных покрытий на основе нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от условий получения. Выявлены общие закономерности синтеза тонких плёнок данного класса соединений ...