Шестаков, Е.А.; Бутов, А.А.; Воронов, А.А.; Орлова, Т.Л.
(2008)
Предлагается описание автоматизированной системы, посредством которой по описанию топологии
микроэлектронных схем подготавливается входная информация для устройств, выполняющих изготовление
фотошаблонов. Входная информация ...