Перегляд за автором "Буранич, В.В."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах 
    Гончаров, А.А.; Юнда, А.Н.; Зыков, А.В.; Фареник, В.И.; Шелест, И.В.; Буранич, В.В. (Журнал физики и инженерии поверхности, 2017)
    В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. ...
  • Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл 
    Буранич, В.В.; Шелест, И.В.; Гончаров, А.А.; Юнда, А.Н.; Гончарова, С.А. (Журнал физики и инженерии поверхности, 2018)
    Проведен анализ технологических особенностей процессов DC- и RF- магнетронных разрядов. Показано, что различия в образовании и поддержании плазменной оболочки оказывают различное воздействие на распыляемый и осаждаемый ...