Соболь, О.В.; Андреев, А.А.; Григорьев, С.Н.; Горбань, В.Ф.; Волосова, М.А.; Алешин, С.В.; Столбовой, В.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2011)
Методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ионной имплантации (способ PBIID) получены покрытия нитрида титана с твердостью, достигающей 62 ГПа и высокой стойкостью к износу при резании. Подача высоковольтных ...