Іващенко, Л.А.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Карпець, М.В.; Бутенко, О.О.; Закієв, І.М.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2009)
Виконано дослідження впливу природи прекурсору на основні фізичні і
трибологічні характеристики плівок SiCN, одержаних методою газофазового осадження, активованого високочастотною плазмою (PECVD). Для
порівняння обрано ...