Шпак, А.П.; Соболь, О.В.; Куницкий, Ю.А.
(Успехи физики металлов, 2008)
Проанализированы закономерности формирования структурно-фазового состояния конденсатов, полученных ионным распылением. Установлено, что все многообразие выявляемых структурных форм и фазовых состояний в осаждаемых материалах ...