Аснис, Е.А.; Лесной, А.Б.; Пискун, Н.В.
(Современная электрометаллургия, 2011)
Приведены экспериментальные и расчетные данные о рафинировании монокристаллов кремния при выращивании их способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки (ЭЛБЗП). Показано, что с помощью ЭЛБЗП удается снизить ...