Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2011
→
Вопросы атомной науки и техники, 2011, № 1
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Glazunov, G.P.
dc.contributor.author	Andreev, A.A.
dc.contributor.author	Bondarenko, M.N.
dc.contributor.author	Konotopskiy, A.L.
dc.contributor.author	Stolbovoy, V.A.
dc.date.accessioned	2016-01-05T18:29:17Z
dc.date.available	2016-01-05T18:29:17Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges / G.P. Glazunov, A.A. Andreev, M.N. Bondarenko, A.L. Konotopskiy, V.A. Stolbovoy // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 116-118. — Бібліогр.: 8 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.other	PACS: 52.40.Hf
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90894
dc.description.abstract	Studies were made into erosion of titanium nitride coatings deposited onto stainless steel substrates in two different ways of vacuum-arc technology: with and without feeding high-voltage negative pulses on the substrate. A possible physical mechanism is offered and discussed to explain the different character of erosion behavior.	uk_UA
dc.description.abstract	Досліджено ерозію покриттів з нітриду титану, осаджених на підкладки з неіржавіючої сталі двома різними методами вакуумно-дугової технології: з подачею і без подачі високовольтних імпульсів негативної полярності на підкладку. Пропонується і обговорюється фізичний механізм для пояснення різного характеру ерозійної поведінки.	uk_UA
dc.description.abstract	Исследована эрозия покрытий из нитрида титана, осажденных на подложки из нержавеющей стали двумя различными методами вакуумно-дуговой технологии: с подачей и без подачи высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку. Предлагается и обсуждается физический механизм для объяснения различного характера эрозионного поведения.	uk_UA
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.subject	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии	uk_UA
dc.title	Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges	uk_UA
dc.title.alternative	Ерозія вакуумно-дугових TiN-покриттів в плазмі стаціонарних розрядів магнетронного типу	uk_UA
dc.title.alternative	Эрозия вакуумно-дуговых TiN-покрытий в плазме стационарных разрядов магнетронного типа	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA