Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc

Abstract

Comparative studies of the structure, mechanical and tribological properties of DLC coatings deposited in DC and DC with superimposed high current pulse modes of operation vacuum-arc plasma source with the graphite cathode are presented. Imposition the pulses of high current on DC vacuum-arc discharge allows both increase the deposition rate of DLC coating and reduce the residual compressive stress in the coatings what promotes substantial improvement the adhesion to the substrate. Effect of vacuum arc plasma filtration with Venetian blind filter on the deposition rate and tribological characteristics of the coatings analyzed.

Представлены результаты сравнительных исследований структуры, механических и трибологических свойств алмазоподобных покрытий (АПП), осажденных методами разряда постоянного тока и постоянного тока с наложением дополнительных импульсов при использовании вакуумно-дугового источника плазмы с графитовым катодом. Установлено, что метод вакуумно-дугового осаждения постоянного тока с наложенными импульсами сильноточной дуги позволяет увеличить скорость осаждения АПП, снижает уровень остаточных напряжений сжатия в покрытиях, существенно улучшает адгезию к подложке и одновременно обеспечивает хорошие характеристики трения. Анализируется влияние фильтрации вакуумно-дуговой плазмы на скорость осаждения и характеристики покрытий.

Представлено результати порівняльних досліджень структури, механічних та трибологічних властивостей алмазоподібних покриттів (АПП), осаджених методами розряду постійного струму та постійного струму з накладанням додаткових імпульсів струму при використанні вакуумно-дугового джерела плазми з графітовим катодом. Встановлено, що метод вакуумно-дугового осадження постійного струму з додатковими імпульсами струму великої амплітуди дозволяє збільшити швидкість осадження АПП, знижує рівень залишкових напружень стиску в покриттях, значно поліпшує адгезію до підкладки та одночасно забезпечує добрі характеристики тертя. Аналізується вплив фільтрації вакуумно-дугової плазми на швидкість осадження та характеристики покриттів.