Computer simulation of abnormal glow discharge processes in crossed electric and magnetic fields

Abstract

A mathematical model for plasma parameters calculation in the abnormal glow discharge in crossed electric and magnetic fields is proposed. Numerical model made it possible to obtain the electric potential, electric field, electron density and temperature distributions in the interelectrode space working area. The application validating of the developed numerical model has proved to describe of the processes in the magnetron-type devices.

Предложена математическая модель расчета параметров плазмы в аномальном тлеющем разряде в скрещенных электрическом и магнитном полях. Численное решение системы уравнений позволило получить распределения потенциала, электрического поля, плотности и температуры электронов в рабочей зоне рассмотренного межэлектродного промежутка. Проведено обоснование применимости разработанной численной модели для описания процессов в устройствах магнетронного типа.

Запропонована математична модель розрахунку параметрів плазми в аномальному тліючому розряді в схрещених електричному і магнітному полях. Чисельне рішення системи рівнянь дозволило отримати розподіли потенціалу, електричного поля, густини і температури електронів у робочій зоні розглянутого міжелектродного проміжку. Проведено обґрунтування застосування розробленої чисельної моделі для опису процесів у пристроях магнетронного типу.