Показати простий запис статті

dc.contributor.author Dakhov, A.N.
dc.contributor.author Dudin, S.V.
dc.date.accessioned 2015-05-22T17:14:59Z
dc.date.available 2015-05-22T17:14:59Z
dc.date.issued 2014
dc.identifier.citation Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source / A.N. Dakhov, S.V. Dudin // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 167-170. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. uk_UA
dc.identifier.issn 1562-6016
dc.identifier.other PACS: 52.70.Kz
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81932
dc.description.abstract Results of actinometric study of oxygen dissociation in ICP source are presented. For atomic oxygen the emission lines of 844.6 nm was chosen having low impact of dissociative excitation. Actinometer gas in the experiments was argon, with emission line of 750.4 nm. Measurements of the degree of oxygen dissociation were conducted depending on the RF power supplied to the ICP source as well as on the oxygen gas pressure. The dissociation degree varies from few percent to 40 % depending on gas pressure. uk_UA
dc.description.abstract Представлены результаты актинометрического изучения диссоциации кислорода в источнике плазмы на базе индукционного разряда. Для атомарного кислорода была выбрана линия излучения 844, 6 нм, не подверженная существенному воздействию диссоциативного возбуждения. В качестве газа-актинометра в экспериментах использовался аргон с линией излучения 750,4 нм. Были проведены измерения степени диссоциации кислорода в зависимости от ВЧ-мощности, подводимой к источнику плазмы, а также от давления кислорода. Установлено, что степень диссоциации меняется от нескольких процентов до 40 % в зависимости от давления газа. uk_UA
dc.description.abstract Представлено результати актинометричного вивчення дисоціації кисню в джерелі плазми на базі індукційного розряду. Для атомарного кисню була обрана лінія випромінювання 844, 6 нм, не схильна до істотного впливу дисоціативного збудження. В якості газу-актинометра в експериментах використовувався аргон з лінією випромінювання 750,4 нм. Були проведені вимірювання ступеня дисоціації кисню в залежності від ВЧ-потужності, що підводиться до джерела плазми, а також від тиску кисню. Встановлено, що ступінь дисоціації змінюється від декількох відсотків до 40 % залежно від тиску газу. uk_UA
dc.language.iso en uk_UA
dc.publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Вопросы атомной науки и техники
dc.subject Низкотемпературная плазма и плазменные технологии uk_UA
dc.title Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source uk_UA
dc.title.alternative Актинометрические исследования диссоциации кислорода в индукционном разряде uk_UA
dc.title.alternative Актинометричні дослідження дисоціації кисню в індукційному розряді uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис