Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2006
→
Вопросы атомной науки и техники, 2006, № 1
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Точилін, С.Д.
dc.date.accessioned	2015-05-14T18:29:03Z
dc.date.available	2015-05-14T18:29:03Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81320
dc.description.abstract	Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів.	uk_UA
dc.description.abstract	Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации поверхности полупроводниковых материалов.	uk_UA
dc.description.abstract	The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory. The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials surface.	uk_UA
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.subject	Чистые материалы и вакуумные технологии	uk_UA
dc.title	Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню	uk_UA
dc.title.alternative	Упругое рассеяние света поверхностью германия при воздействии молекулярного и атомарного водорода	uk_UA
dc.title.alternative	Elastic scattering of light by a surface germany at influence of molecular and atomic hydrogen	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	66.012.1; 535.361