Показати простий запис статті
dc.contributor.author |
Мордик, С.Н. |
|
dc.contributor.author |
Возный, В.И. |
|
dc.contributor.author |
Мирошниченко, В.И. |
|
dc.contributor.author |
Нагорный, А.Г. |
|
dc.contributor.author |
Нагорный, Д.А. |
|
dc.contributor.author |
Сторижко, В.Е. |
|
dc.contributor.author |
Шульга, Д.П. |
|
dc.date.accessioned |
2015-05-12T20:13:52Z |
|
dc.date.available |
2015-05-12T20:13:52Z |
|
dc.date.issued |
2006 |
|
dc.identifier.citation |
Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы / С.Н. Мордик, В.И. Возный, В.И. Мирошниченко, А.Г. Нагорный, Д.А. Нагорный,
В.Е. Сторижко, Д.П. Шульга
// Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 208-211. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
1562-6016 |
|
dc.identifier.other |
PACS: 52.50.Dg |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81183 |
|
dc.description.abstract |
Проведены исследования геликонного источника водородной/гелиевой/аргоновой плазмы для ионно-пучковых приложений. Для создания продольного магнитного поля в геликонном источнике применена компактная магнитная система с постоянными магнитами (NdFeB) и ферритами кольцевой формы. Измеренные плотности плазмы составляли величину 0.9*10¹³ см⁻³ (для аргона), 2.5*10¹² см⁻³ (для гелия) и 6*10¹¹ см⁻³ (для водорода) при рабочем давлении газа в источнике <10 мТорр и вводимой в плазму ВЧ-мощности <350 Вт (fВЧ=27.12 МГц). Плотность ионного тока составляла величину ~ 100 мА/см² при диаметре эмиссионного отверстия 0.6 мм. Измерения плотности плазмы производились с помощью СВЧ-интерферометра. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
We are testing a high-plasma-density Helicon Source for ion beam application. Experiments were performed with a hydrogen-, helium- and argon gas. The source has been diagnosed by a microwave interferometer. Measured plasma densities in the vicinity antenna of up to 9.0⋅10¹³ cm⁻³ (for argon), 2.4⋅10¹² cm⁻³ (for helium), and 6.5⋅10¹¹ cm⁻³ (for hydrogen) were obtained for working gas pressure of <10 mTorr and RF power <350 W (fRF=27.12 MHz). The ion current density was ~100 mA/cm² |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Проведені дослідження геліконного джерела водневої /гелійової/ аргонової плазми для іонно-пучкових застосувань. Для створення подовжнього магнітного поля в геліконному джерелі застосована компактна магнітна система зі сталими магнітами (NdFeB) і феритами кільцевої форми. Виміряні густини плазми були 0.9*10¹³ см⁻³ (для аргону), 2.5*10¹² см⁻³ (для гелію) і 6*10¹¹ см⁻³ (для водню) при робочому тиску газу у джерелі |
uk_UA |
dc.language.iso |
ru |
uk_UA |
dc.publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Вопросы атомной науки и техники |
|
dc.subject |
Приложения и технологии |
uk_UA |
dc.title |
Геликонный источник ионов в режиме высокой плотности плазмы |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Helicon ion source in high plasma density operation mode |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Геліконне джерело іонів у режимі високої щільності плазми |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
Файли у цій статті
Ця стаття з'являється у наступних колекціях
Показати простий запис статті