Радиационная повреждаемость нанокристаллических CrN-покрытий

Abstract

Выполнено изучение структурной стабильности нанокристаллических покрытий CrN, полученных в условиях осаждения хрома и бомбардировки ионами азота с энергией 30 кэВ при температурах < 100 и 300°С. Показано, что облучение таких мелкокристаллических объектов ионами азота до уровней повреждений 25 с.м.а. приводит к последовательному увеличению их сопротивления. С другой стороны, радиационное воздействие не оказывает заметного влияния на размер зерна покрытий и не приводит к их аморфизации.

Проведене вивчення структурної стабільності нанокристалевих покриттів CrN, здобутих в умовах осадження хрому та бомбардування іонами азоту з енергією 30 кеВ при температурах <100°С та 300°С. Показано, що опромінення таких дрібнокристалевих об`єктів іонами азоту до рівня пошкодження 25 зміщень на атом призводить до послідовного збільшення їх електроопору. З іншого боку, радіаційне діяння не чинить помітного впливу на розмір зерна покриттів та не призводить до аморфізації.

The studying structure stability of nanocrystalline CrN coatings was performed. These coatings were received during chromium deposition with nitrogen ion bombardment with energy 30 keV at the temperatures < 100°C and 300°C. The result of the irradiation such ultra crystalline specimens with nitrogen ions up to 25 displacements per atom is the resistivity increasing. From other side the radiation effect doesn’t influence on grain size and coating amorphysation.