Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы

Abstract

Дійсна робота являє собою короткий огляд результатів досліджень і розробок, виконаних у ННЦ ХФТІ в області синтезу а-С плівок вакуумно-дуговим методом. Розглянуто основні результати розробок ключових вузлів технологічного устаткування – плазмових джерел з магнітними фільтрами. Приведено дані про структуру, фізико- механічні властивості та службові характеристики одержуваних плівок. Повідомляються зведення про застосування а-С плівок (покрить) у даний час, дана оцінка потенційних можливостей і перспектив практичного застосування вакуумно- дугового методу синтезу алмазоподібних вуглецевих плівок.

Настоящая работа представляет собой краткий обзор результатов исследований и разработок, выполненных в ННЦ ХФТИ в области синтеза а-С плёнок вакуумно-дуговым методом. Рассмотрены основные результаты разработок ключевых узлов технологического оборудования – плазменных источников с магнитными фильтрами. Приведены данные о структуре, физико-механических свойствах и служебных характеристиках получаемых плёнок. Сообщаются сведения о применении а-С плёнок (покрытий) в настоящее время, дана оценка потенциальных возможностей и перспектив практического применения вакуумно-дугового метода синтеза алмазоподобных углеродных плёнок.

The present work represents the brief review of results of investigations and developments executed in NSC KIPT in the field of DLC films (a-C) synthesis by a vacuum – arc method. The primary results of developments of key items of the process equipment – plasma sources with magnetic filters are described. The data on structure, physico-mechanical properties and working characteristics of deposited films is discussed. The data on application of а-С films, estimation of potential opportunities and perspectives of practical application of a vacuum - arc method of a-C films synthesis is given.