Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»

Abstract

Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности указанных покрытий. Предложено объяснение полученных зависимостей с позиции физики диффузионных процессов при высокотемпературном воздействии на сложную систему «(Ti, Hf)N-покрытие–Si-подложка».

Вивчено закономірності змінювання елементного складу і морфології поверхні за умов температурного впливу в системі, що складається із покриття на основі твердого розчину (Ti, Hf)N і кремнієвої підкладинки. Визначено характерні особливості розподілу елементів за глибиною і морфології поверхні зазначених покриттів. Запропоновано пояснення отриманих залежностей з позиції фізики дифузійних процесів при високотемпературному впливі на складну систему «(Ti, Hf)N-покриття–Si-підкладинка».

The regularities of variation of the elemental composition and morphology of the surface under conditions of thermal effects in a system consisting of a coating based solid solution (Ti, Hf)N and Si substrate. Characteristic features of the distribution of elements in the depth and surface morphology of these coatings. An explanation of the obtained dependences of the positions physics of diffusion processes at high impact on the complex system «(Ti, Hf)N-coating–Si-substrate».