Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната

Abstract

На основе полученных экспериментальных данных по элементному составу тонких пленок железоиттриевых гранатов (ЖИГ) рассчитаны значения коэффициентов диффузии элементов. Проведено сравнение полученных значений коэффициентов диффузии кислорода с известными данными. Анализ и сравнение полученных значений коэффициентов диффузии позволяют сделать вывод о незначительной роли диффузии по ускоренным путям в случае ионно-лучевого осаждения монокристаллических тонких пленок ЖИГ.

На основі отриманих експериментальних даних з елементного складу тонких плівок залізоітрієвих гранатів (ЗІГ) розраховані значення коефіцієнтів дифузії елементів. Проведено порівняння отриманих значень коефіцієнтів дифузії кисню з відомими даними. Аналіз і порівняння отриманих значень коефіцієнтів дифузії дозволяє зробити висновок про незначну роль дифузії за прискореними шляхами в разі іонно-променевого осадження монокристалічних тонких плівок ЗІГ.

On the basis of experimental data on the elemental composition of thin films of YIG the diffusion coefficients of elements were calculated. A comparison of the values of the coefficients of diffusion of oxygen from the known data was conducted. Analysis and comparison of the diffusion coefficients suggests a minor role on the diffusion on accelarative paths in the case of ion-beam deposition of thin films of single-crystal YIG.