The low energy ribbon ion beam source and transport system

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2006
→
Вопросы атомной науки и техники, 2006, № 2
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Masunov, E.S.
dc.contributor.author	Polozov, S.M.
dc.contributor.author	Kulevoy, T.V.
dc.contributor.author	Pershin, V.I.
dc.date.accessioned	2015-03-22T09:03:47Z
dc.date.available	2015-03-22T09:03:47Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	The low energy ribbon ion beam source and transport system / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, V.I. Pershin // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 2. — С. 123-125. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.other	PACS: 29.25.Ni, 61.72.Tt
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78872
dc.description.abstract	The ribbon ion beam can be used in the commercial ion implanters in order to enlarge the beam current. The Bernas type ion source and periodical system of electrostatic lenses (electrostatic undulator) are proposed for high intensity ion implanter design. The ribbon ion source and transport system for such beam are discussed.	uk_UA
dc.description.abstract	Ленточные ионные пучки могут быть применены в коммерческих ионных имплантерах для увеличения тока пучка. Для создания сильноточного имплантора предлагается использовать ионный источник Берна и периодическую систему электростатических линз (электростатический ондулятор). Обсуждаются выбор источника ленточного ионного пучка и система его транспортировки.	uk_UA
dc.description.abstract	Стрічкові іонні пучки можуть бути застосовані в комерційних іонних імплантерах для збільшення струму пучка. Для створення потужнострумового імплантора пропонується використати іонне джерело Берна й періодичну систему електростатичних лінз (електростатичний ондулятор). Обговорюються вибір джерела стрічкового іонного пучка й система його транспортування.	uk_UA
dc.description.sponsorship	The work was supported by RFBR: Grant 04-02-16667.	uk_UA
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.subject	Линейные ускорители заряженных частиц	uk_UA
dc.title	The low energy ribbon ion beam source and transport system	uk_UA
dc.title.alternative	Источник и система транспортировки низкоэнергетического ленточного ионного пучка	uk_UA
dc.title.alternative	Джерело й система транспортування низькоенергетичного стрічкового іонного пучка	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA