Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии

Abstract

Приведены результаты изучения покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°C. Показано, что при использовании определённых методических подходов метод вторично-ионной масс-спектрометрии может быть с успехом применён для детального анализа распределения металлических и газообразных примесей внедрения в переходной зоне покрытие-подложка. Обнаружено, что ионная бомбардировка в процессе осаждения приводит к формированию широкой переходной зоны между подложкой и покрытием, свободной от газообразных примесей и щелочных металлов.

В роботі наведені результати вивчення системи покриття Cr-N - алюміній, сформованого за умов осадження хрома с одночасним опроміненням іонами азота с енергією 30 кеВ при температурі 300°С. Показано, що при використанні певних методичних підходів метод вторинно-іонної мас-спектрометрії може бути з успіхом використан для детального аналізу розподілу металевих та газуватих домішок проникнення в перехідній зоні покриття-підкладка. Знайдено, що іонне бомбардування в процесі осадження призводить до формування широкої перехідної зони між підкладкою і покриттям, вільної від газуватих домішок та лужних металів.

In activity the outcomes of analysis of a system coating Cr-N - aluminium, chromium, reshaped in mode of depositions, with simultaneous irradiation by nitrogen ions with energy 30 keV are adduced at temperature 300°С. It was shown, that at definite modification the method of the secondary - ion mass spectrometry can with success be applied for indepth study of distribution of metal and gaseous interstitial impurities in a transition zone a cover substrate. It is revealed, that the ionic bombardment during a deposition results in formation of a broad zone between a substrate and coating, free from gaseous impurity and alkaline metals.