Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний

Abstract

Представлены результаты исследований оптической интерферометрии на основе низкокогерентных источников излучения вне зоны когерентности. Показано, что когда разность плеч интерферометра Майкельсона превышает длину когерентности излучения светодиода, явление спектральной интерференции обеспечивает абсолютные измерения микро- и нанорасстояний в соответствии со временем задержки и относительной фазой между опорным и зондирующим сигналами.

The paper presents some results of the optical interferometry investigations with use of low-coherent optical sources beyond their coherence zone. It is shown that when the path difference of arms in Michelson interferometer exceeds the coherence length of light-emitting diode radiation, the interference pattern in spectral domain enables to perform absolute measurements of micro and nano distances due to its dependence on both time delay and relative phase of the signals.

Наведено результати досліджень оптичної інтерферометрії на основі низькокогерентних джерел випромінювання поза зони когерентності. Показано, що коли різниця пліч інтерферометра Майкельсона перевищує довжину коге- рентності випромінювання світлодіода, явище спектральної інтерференції забезпечує абсолютні вимірювання мікро- та нановідстаней згідно з часом затримки та відносною фазою між опорним та зондуючим сигналами.