Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al

Abstract

Вивчалися структурні, електричні та оптичні властивості плівок ZnO:Al, виготовлених методою пульверизації. Наведено результати впливу температури осадження плівок на поверхневий опір плівок. Встановлено, що плівки, леґовані алюмінієм, мають переважно структуру з орієнтацією (002), а також зниження рівня кристалічности плівок із збільшенням концентрації алюмінію від 1,5 ат.% до 4,5 ат.%. Діяметер зерен становить близько 21—28 нм. Ширина забороненої зони за даними розрахунків складає 3,28—3,34 еВ. Оптичне пропускання плівок досить високе; у видимій та інфрачервоній ділянках воно складає 90—96%.

Structural, electrical, and optical properties of ZnO:Al films fabricated by the spraying method are studied. The results of influence of films deposition temperature on their surface resistance are presented. As revealed, the films alloyed with aluminium mainly possess a structure of (002) orientation. Level of films crystallinity decreases with the increase of aluminium concentration from 1.5 at.% to 4.5 at.%. The grains diameter is about 21—28 nm. According to calculation data, forbidden-band width is 3.28—3.34 eV. Optical transmission of films is high enough and makes 90—96%in visible and infrared ranges.

Изучались структурные, электрические и оптические свойства пленок ZnO:Al, изготовленных методом пульверизации. Приведены результаты влияния температуры осаждения пленок на их поверхностное сопротивление. Установлено, что пленки, легированные алюминием, преимущественно имеют структуру с ориентацией (002), а также снижение уровня кристалличности пленок с увеличением концентрации алюминия от 1,5 ат.% до 4,5 ат.%. Диаметр зерен составил около 21—28 нм. Ширина запрещенной зоны по данным расчетов составляет 3,28—3,34 эВ. Оптическое пропускание пленок достаточно высокое и составляет 90—96% в видимом и инфракрасном участках.