Анізотропний модель динамічної трикристальної Ляве-дифрактометрії структурної досконалости кристалічних виробів нанотехнологій. І. Когерентна складова динамічної картини розсіяння

Abstract

В рамках динамічної теорії розсіяння Рентґенових променів у недосконалих кристалах розглянуто випадок геометрії дифракції за Ляве без обмежень на розміри дефектів. Одержано аналітичні вирази для когерентних компонент коефіцієнтів проходження і відбиття для кристалів з однорідно розподіленими дефектами ріжних типів. З урахуванням анізотропії полів зміщень атомів кристалу навколо дефектів одержано аналітичні вирази для дисперсійних поправок до хвильових векторів «сильних» Бреґґових хвиль, які виникають внаслідок дифузного розсіяння. Враховано інструментальні фактори трикристального дифрактометра у режимі картографування оберненого простору.

В рамках динамической теории рассеяния рентгеновских лучей в несовершенных кристаллах рассмотрен случай геометрии дифракции по Лауэ без ограничений на размеры дефектов. Получены аналитические выражения для когерентных компонент коэффициентов прохождения и отражения для кристалла с однородно распределёнными дефектами разных типов. С учетом анизотропии полей смещений атомов кристалла вокруг дефектов получены аналитические выражения для дисперсионных поправок к волновым векторам «сильных» брэгговских волн, возникающих вследствие диффузного рассеяния. Учтены инструментальные факторы трехкристального дифрактометра в режиме картографирования обратного пространства.

Within the dynamical theory of x-ray scattering by imperfect crystal without defect-size restrictions, the case of Laue-diffraction geometry is considered. Analytical expressions for the coherent components of transmission and reflection coefficients for the crystal containing homogenously distributed defects of various types are obtained. Taking into account anisotropy of atomic-displacement fields about crystal defects, the analytical expressions for the dispersion corrections to the wave vectors of ‘strong’ Bragg waves appeared due to the diffuse scattering are derived. The instrumental factors of the three-crystal diffractometer in a mode of mapping of reciprocal space are considered.