Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Литвин, О.С.
dc.contributor.author Литвин, П.М.
dc.contributor.author Прокопенко, І.В.
dc.contributor.author Шеремета, Т.І.
dc.date.accessioned 2015-02-07T12:31:26Z
dc.date.available 2015-02-07T12:31:26Z
dc.date.issued 2008
dc.identifier.citation Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії / О.С. Литвин, П.М. Литвин, І.В. Прокопенко, Т.І. Шеремета // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 1. — С. 33-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр. uk_UA
dc.identifier.issn 1816-5230
dc.identifier.other PACS numbers :07.79.Lh,61.46.-w,68.37.Ps,68.65.-k,81.07.-b,81.16.Ta,82.37.Gk
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76014
dc.description.abstract На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії (АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної реконструкції зображень поверхні та її оптимізації. Показано, що комплексне застосування ріжних способів мінімізації спотворень геометричних розмірів наноструктурних елементів поверхонь, які виникають внаслідок скінченности розмірів вістря зонду, забезпечує одержання адекватних топометричних даних. uk_UA
dc.description.abstract Peculiarities of ‘tip effect’ minimization techniques’ usage in topometric investigations using scanning atomic force microscopy are analyzed using real nanostructured surfaces as examples. Practical parameters for the computer surface-image reconstruction efficiency evaluation and optimization are presented. As shown, the combined use of various techniques for minimization of distortions in geometrical sizes of surface nanostructures caused by finite tip sizes provides adequate topometric data. uk_UA
dc.description.abstract В работе на примере реальных наноструктурированных поверхностей проанализированы особенности применения методов минимизации «эффекта зонда» в топометрических исследованиях методом сканирующей атомносиловой микроскопии (АСМ). Представлены практические параметры оценки эффективности компьютерной реконструкции изображений поверхности и ее оптимизации. Показано, что комплексное применение разных способов минимизации искажений геометрических размеров наноструктурных элементов поверхностей, которые возникают вследствие конечных размеров острия зонда, обеспечивает получение адекватных топометрических данных. uk_UA
dc.description.sponsorship Роботу виконано за підтримки Міністерства освіти та науки України (грант № М/175-2007). uk_UA
dc.language.iso uk uk_UA
dc.publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
dc.title Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії uk_UA
dc.title.alternative Peculiarities of Nanostructures Topometry Studied by Atomic Force Microscopy Methods
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис