dc.contributor.author |
Литвин, О.С. |
|
dc.contributor.author |
Литвин, П.М. |
|
dc.contributor.author |
Прокопенко, І.В. |
|
dc.contributor.author |
Шеремета, Т.І. |
|
dc.date.accessioned |
2015-02-07T12:31:26Z |
|
dc.date.available |
2015-02-07T12:31:26Z |
|
dc.date.issued |
2008 |
|
dc.identifier.citation |
Особливості топометрії наноструктур
методою атомно-силової мікроскопії / О.С. Литвин, П.М. Литвин, І.В. Прокопенко, Т.І. Шеремета // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 1. — С. 33-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
1816-5230 |
|
dc.identifier.other |
PACS numbers :07.79.Lh,61.46.-w,68.37.Ps,68.65.-k,81.07.-b,81.16.Ta,82.37.Gk |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76014 |
|
dc.description.abstract |
На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії
(АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної
реконструкції зображень поверхні та її оптимізації. Показано, що комплексне застосування ріжних способів мінімізації спотворень геометричних
розмірів наноструктурних елементів поверхонь, які виникають внаслідок
скінченности розмірів вістря зонду, забезпечує одержання адекватних топометричних даних. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Peculiarities of ‘tip effect’ minimization techniques’ usage in topometric investigations
using scanning atomic force microscopy are analyzed using real
nanostructured surfaces as examples. Practical parameters for the computer
surface-image reconstruction efficiency evaluation and optimization are presented.
As shown, the combined use of various techniques for minimization
of distortions in geometrical sizes of surface nanostructures caused by finite
tip sizes provides adequate topometric data. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
В работе на примере реальных наноструктурированных поверхностей проанализированы особенности применения методов минимизации «эффекта
зонда» в топометрических исследованиях методом сканирующей атомносиловой микроскопии (АСМ). Представлены практические параметры оценки эффективности компьютерной реконструкции изображений поверхности
и ее оптимизации. Показано, что комплексное применение разных способов
минимизации искажений геометрических размеров наноструктурных элементов поверхностей, которые возникают вследствие конечных размеров острия зонда, обеспечивает получение адекватных топометрических данных. |
uk_UA |
dc.description.sponsorship |
Роботу виконано за підтримки Міністерства освіти та науки України (грант № М/175-2007). |
uk_UA |
dc.language.iso |
uk |
uk_UA |
dc.publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|
dc.title |
Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Peculiarities of Nanostructures Topometry Studied by Atomic Force Microscopy Methods |
|
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |