Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії

Abstract

На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії (АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної реконструкції зображень поверхні та її оптимізації. Показано, що комплексне застосування ріжних способів мінімізації спотворень геометричних розмірів наноструктурних елементів поверхонь, які виникають внаслідок скінченности розмірів вістря зонду, забезпечує одержання адекватних топометричних даних.

Peculiarities of ‘tip effect’ minimization techniques’ usage in topometric investigations using scanning atomic force microscopy are analyzed using real nanostructured surfaces as examples. Practical parameters for the computer surface-image reconstruction efficiency evaluation and optimization are presented. As shown, the combined use of various techniques for minimization of distortions in geometrical sizes of surface nanostructures caused by finite tip sizes provides adequate topometric data.

В работе на примере реальных наноструктурированных поверхностей проанализированы особенности применения методов минимизации «эффекта зонда» в топометрических исследованиях методом сканирующей атомносиловой микроскопии (АСМ). Представлены практические параметры оценки эффективности компьютерной реконструкции изображений поверхности и ее оптимизации. Показано, что комплексное применение разных способов минимизации искажений геометрических размеров наноструктурных элементов поверхностей, которые возникают вследствие конечных размеров острия зонда, обеспечивает получение адекватных топометрических данных.