Павленко, В.И.; Слепцов, С.Н.; Ферлий, Л.А.; Чалый, С.О.
(Вопросы атомной науки и техники, 2014)
Методами математического моделирования, с использованием программного комплекса SPURT.CRIS,
сгенерированы и исследованы профили залегания имплантированных ионов в зависимости от угла падения α
ионов при облучении ...