Торяник, И.Н.; Грудницкий, В.В.; Береснев, В.М.; Соболь, О.В.; Литовченко, C.В.; Турбин, П.В.; Сердюк, И.В.; Гончаров, И.Ю.
(Вопросы атомной науки и техники, 2014)
Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные ...