Глушко, П.И.; Журавлёв, А.Ю.; Капустин, В.Л.; Левенец, В.В.; Семенов, Н.А.; Хованский, Н.А.; Шеремет, В.И.; Широков, Б.М.; Шиян, А.В.
(Вопросы атомной науки и техники, 2014)
Разработан и изготовлен сублимационный источник атомов для нанесения плёнок методом молекулярно- лучевой эпитаксии. С использованием сублимационного источника получены эпитаксиальные кремний- германиевые пленки с различным ...