Батурин, В.А.; Еремин, С.А.; Пустовойтов, С.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2006)
Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по ...