Покрытия из нанопористого анодного оксида алюминия для сенсорных применений

Abstract

Описана разработка технологии тонкоплёночных сенсорных покрытий из пористого анодного оксида алюминия (ПАОА), выращенного на плёнках алюминия на стеклянных подложках, включающей контроль кривых отражения волноводных сенсорных структур на металлическом подслое (ВСМП) ПАОА–Al в процессе анодного окисления и растравливания пор. Приведены результаты моделирования оптических характеристик ВСМП в процессе их изготовления. Представлены также результаты исследований полученных нанопористых покрытий методом СЭМ и данные тестовых иммунохимических исследований на ВСМП ПАОА–Al. Описанная разработка выполнена для развития оптических биосенсоров на ВСМП, но может быть применена для создания нанопористых покрытий из ПАОА для других видов высокочувствительных сенсоров.

Описано розробку технології тонкоплівкових сенсорних покриттів з пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА), вирощеного на плівках алюмінію на скляних підложжях, яка включає контроль кривих відбивання хвилевідних сенсорних структур на металевому підшарі (ХСМП) ПАОА– Al в процесі анодного окиснення і розтравлення пор. Наведено результати моделювання оптичних характеристик ХСМП у процесі їх виготовляння. Представлено також результати досліджень одержаних нанопористих покриттів методом СЕМ і дані тестових імунохімічних досліджень на ХСМП ПАОА–Al. Описану розробку виконано для розвитку оптичних біосенсорів на ХСМП, але її може бути застосовано для створення нанопористих покриттів з ПАОА для інших видів високочутливих сенсорів.

The development of technology of thin-film sensor coatings of porous anodic aluminium oxide (PAAO) grown on aluminium films on glass substrates is described and includes control of the reflection curves of metal-clad waveguide (MCWG) sensory structures on the PAAO–Al, during the process of anodic oxidation and subsequent wet etching of pores. The results of the MCWG optical characteristics modelling in the process of their fabrication are given. The analysis of the nanoporous coatings by SEM and results of immunochemical studies on MCWG based on the PAAO–Al are presented. Designed technology is performed for the development of optical MCWG biosensors, but it may be applied to fabricate the nanoporous PAAO coatings for other kinds of high-sensitive sensors.