Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2005, № 2 за автором "Abolmasov, S.N."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2005, № 2 за автором "Abolmasov, S.N."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Bizyukov, A.A.; Kashaba, A.Ye.; Romashchenko, E.V.; Sereda, K.N.; Tarasov, I.K.; Abolmasov, S.N. (Вопросы атомной науки и техники, 2005)
    The high-current pulsed magnetron sputtering system is presented and its operation regimes are studied. The comparative technological trials of the system are carried out at various types of the discharge: stationary ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис