Кунченко, В.В.; Андреев, А.А.; Кунченко, Ю.В.; Картмазов, Г.Н.
(Вопросы атомной науки и техники, 2004)
CrNх покрытия различной стехиометрии получены методом вакуумно-дугового осаждения. Изучено влияние основных параметров (давление азота PN = 0…0,6 Па, температура подложки ТП = 150….600 °С, её потенциал
UП = -15…-120 В) ...