Гончаров, А.А.; Добровольский, А.Н.; Павлов, С.Н.; Проценко, И.М.; Костин, Е.Г.
(Вопросы атомной науки и техники, 2003)
Современные технологии магнетронного напыления технологических и декоративных покрытий сегодня широко используются во всем мире. Наряду с использованием вакуумно-дуговых методов обработки они позволяют отказаться от ...