Решетняк, Е.Н.; Малыхин, С.В.; Першин, Ю.П.; Пугачев, А.Т.
(Вопросы атомной науки и техники, 2003)
Методом рентгеновской дифрактометрии исследована структура пленок вольфрама и многослойных периодических W/Si-композиций, полученных методом магнетронного распыления. Показано, что химический и фазовый составы вольфрамовых ...