Вирич, В.Д.; Гугля, А.Г.; Шкуропатенко, В.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2003)
Приведены результаты изучения покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°C. Показано, что при использовании
...