Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2002, № 5 за автором "Kashaba, A.Y."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2002, № 5 за автором "Kashaba, A.Y."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Azarenkov, N.A.; Bizyukov, A.A.; Sereda, K.N.; Tseluyko, A.Ph.; Yunakov, N.N.; Gapon, A.V.; Kashaba, A.Y. (Вопросы атомной науки и техники, 2002)
    A surface wave plasma source for the production of a large-diameter, high electron density and low electron temperature plasma at low pressure without using a magnetic field for plasma processing and thin film preparation ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис